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Etude des propriétés de couches minces de silicium dopé azote obtenues par LPCVD et implantées au bore pour grille polycilicium de transistors MOS
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Etude des propriétés de couches minces de silicium dopé azote obtenues par LPCVD et implantées au bore pour grille polycilicium de transistors MOS
Mansour F.
;
Bouridah Hachemi
URI:
http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5570
Date:
2017-01-01
Description:
177 f.
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Name:
BOU4400.pdf
Size:
4.812Mb
Format:
PDF
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