Etude par spectroscopie de rétrodiffusion Rutherford de l'implantation ionique de Sb+ dans Si.Effet de l'orientation du détecteur sur les spectrs obtenus
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Etude par spectroscopie de rétrodiffusion Rutherford de l'implantation ionique de Sb+ dans Si.Effet de l'orientation du détecteur sur les spectrs obtenus