Résumé:
Les couches minces de carbone amorphe hydrogéné ou DLC présentent un
grand intérêt technologique grâce à leurs propriétés performantes souvent proches de
celle du diamant. Ces propriétés sont obtenues lors de la formation d’une structure
amorphe formée principalement par un mélange d’hybridation en sp2 et sp3. Mais il
s’avère que la présence de contraintes dans ces couches limite leur utilisation pour des
applications mécanique par la délamination de la couche DLC. Pour obtenir à partir d’un
plasma de méthane des couches DLC avec des épaisseurs de quelques microns la solution
est de déposer une couche intermédiaire de chrome qui peut améliorer l’adhésion de la
couche
