Abstract:
Des couches minces de ZnO ont été déposées par pulvérisation (DC) d'une
cible métallique de Zinc, en utilisant un plasma d’un mélange de gaz (argon, oxygène) avec
des pressions variantes de l’Oxygène et à une température de 100 °C. Ces couches sont
caractérisées par la transmission optique UV visible et les mesures de conductivité
électrique. Les mesures de transmission optique des couches montrent que la
transmission optique est très élevée (facteur de transmission) dans la gamme de
longueurs d’ondes située entre 400 nm et 2500 nm et elle variée en fonction de la
pression d’oxygène. Les mesures électriques I-V et I-T mettent en évidence l’effet de la
pression d’oxygène dans le plasma sur la conductivité et l’énergie d’activation des
couches élaborées
