Etude et simulation par la méthode de Monté-Carlo, utilisant le code trim des profils d'implantation ionique de films SI-LPCVD ayant subis un fort codopagebore-azoté
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Etude et simulation par la méthode de Monté-Carlo, utilisant le code trim des profils d'implantation ionique de films SI-LPCVD ayant subis un fort codopagebore-azoté