Dépôt institutionnel de l'universite Freres Mentouri Constantine 1

Caractérisation de films minces déposés par plasma PECVD à partir de vapeurs de TMS

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dc.contributor.author Kihel Mouloud
dc.contributor.author Sahèi S.
dc.date.accessioned 2022-05-24T09:56:29Z
dc.date.available 2022-05-24T09:56:29Z
dc.date.issued 2017-01-01
dc.identifier.uri http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5919
dc.description 77 f.
dc.language.iso fre
dc.subject Electronique
dc.title Caractérisation de films minces déposés par plasma PECVD à partir de vapeurs de TMS
dc.coverage 01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la B.U.C. 01CD


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