Caractérisation de films minces déposés par plasma PECVD à partir de vapeurs de TMS

dc.contributor.author	Kihel Mouloud
dc.contributor.author	Sahèi S.
dc.date.accessioned	2022-05-24T09:56:29Z
dc.date.available	2022-05-24T09:56:29Z
dc.date.issued	2017-01-01
dc.identifier.uri	http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5919
dc.description	77 f.
dc.language.iso	fre
dc.subject	Electronique
dc.title	Caractérisation de films minces déposés par plasma PECVD à partir de vapeurs de TMS
dc.coverage	01 Disponible à la salle de recherche 02 Disponibles au magazin de la B.U.C. 01CD