Etude de la redistribution et de l'activation après traitement thermique des dopants dans des films Si LPCVD dopés bore et codopes bore azote à de fortes concentrations

dc.contributor.author	Mahamdi Ramdane
dc.contributor.author	Mansour F.
dc.date.accessioned	2022-05-24T09:55:27Z
dc.date.available	2022-05-24T09:55:27Z
dc.date.issued	2017-01-01
dc.identifier.uri	http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5858
dc.description	177 f.
dc.language.iso	fre
dc.subject	Electronique
dc.title	Etude de la redistribution et de l'activation après traitement thermique des dopants dans des films Si LPCVD dopés bore et codopes bore azote à de fortes concentrations
dc.coverage	01 Disponible dans la salle de recherche 02 Disponibles au magasin de la bibliothèque centrale