Mécanismes d'oxydation des films SI-LPCVD fortement dopés au bore

dc.contributor.author	Boukezzata Messaoud
dc.contributor.author	Bille-Dasprt N.
dc.date.accessioned	2022-05-24T09:45:18Z
dc.date.available	2022-05-24T09:45:18Z
dc.date.issued	2017-01-01
dc.identifier.uri	http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/5511
dc.description	155 p.
dc.language.iso	fre
dc.subject	Electronique
dc.title	Mécanismes d'oxydation des films SI-LPCVD fortement dopés au bore
dc.coverage	01 Disponible dans la salle de recherche