TADJINE, R; KECHOUANE, M; ALIM, M.M
(Université Frères Mentouri - Constantine 1, 2013-12-16)
L’objective de notre étude et la modélisation électrique d’un plasma
magnétron utilisé dans les procédés de dépôt de couche minces. La corrélation entre les
éléments de ce modèle électrique avec les paramètres macroscopiques ...