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Etude thermique et expérimentale des diffusions d'arsenic et de bore dans une structure poly silicium sur silicium et dans le silicium lors de traitements thermiques rapides

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dc.contributor.author Gontrans ; R.Halimi C.
dc.contributor.author Merabet Abdelali
dc.date.accessioned 2022-05-30T09:37:46Z
dc.date.available 2022-05-30T09:37:46Z
dc.date.issued 2017-01-01
dc.identifier.uri http://depot.umc.edu.dz/handle/123456789/11928
dc.description 185 f.
dc.language.iso fre
dc.subject Physique
dc.title Etude thermique et expérimentale des diffusions d'arsenic et de bore dans une structure poly silicium sur silicium et dans le silicium lors de traitements thermiques rapides
dc.coverage 1 Disponible à la salle de recherche 2 Disponibles au magasin de la bibliothèque centrale


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